功效概述

应?于4/8/12寸Micro LED/OLED晶圆点灯AOI检测
，使用自主研发JI-IYM-S 系列光谱分光式成像亮度计搭配 TEL P8 /P12探针台
，集成ATE测试和AOI检测功效的检测一体装备
，镌汰了分步作业对产品的二次污染
，在提高检测效率的同时
，也提高了检测的稳固性
，镌汰了外界影响对产品造成的不良
，提高了产品的良率。

应用展示

搭配富邦娱乐注册自主研发的JI-IYM-S 系列光谱分光式成像亮度计
，取代了古板的光学测试加AOI检测分步作业的方法
，可以在光学测试的同时完成AOI检出。

外观检测及光电测试项目

配套富邦娱乐注册电子自研探针台AOI软件

优势手艺点

·   接纳高区分率光谱AOI相机
，AOI取图同时能够输出亮度/色度/波长数据

·   使用富邦娱乐注册自研晶圆标准AOI软件
，支持晶圆检测实时动态缺陷及良率管理

·   基于深度学习缺陷检测
，支持AI缺陷复判分类
，过漏检率＜0.3%

·   实现高自动化：标准EFEM系统稳固可靠、精度高
，防震品级VC-B
，内部防尘品级Class100

·   可集成CP/ATE测试功效举行集成电路逻辑测试